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石墨坩堝在熱場系統(tǒng)中的功能有哪些?
發(fā)布作者:jcadmin 發(fā)布時間:2023年10月28日
直拉法出產(chǎn)單晶硅是現(xiàn)在制備單晶硅的最首要辦法,熱場體系是硅資料成晶的最重要的條件之一,熱場的溫度梯度分布直接影響著是否能順暢地拉出單晶和操控單晶的質(zhì)量好壞。因此熱場的設(shè)計和改進(jìn)對一個有競爭力的拉晶廠家來說非常重要。
石墨坩堝在熱場體系中的功用 :
在拉制單晶的過程中,石墨坩堝作為要害核心部件的首要作用有如下幾點(diǎn):
(1)高溫承載作用:裝滿多晶硅資料的石英坩堝要置于石墨坩堝里邊,石墨坩堝要承載石英坩堝和多晶硅等資料的重量,確保高溫石英坩堝變軟后,資料不會走漏出來,并且在拉晶過程中要承載資料做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動,因此,對其力學(xué)功用要求比較高;
(2)傳熱作用:坩堝經(jīng)過自身優(yōu)秀的導(dǎo)熱功用,傳導(dǎo)多晶硅資料融化所需的熱量,融化溫度在1600℃左右,因此,坩堝有必要要有杰出的高溫導(dǎo)熱功用;
(3)安全作用:在緊急情況停爐時,因為多晶硅冷卻時體積脹大(大約為10%),坩堝短時間內(nèi)會接受很大的應(yīng)力,因石墨資料自身的強(qiáng)度較低,石墨坩堝在這種情況下一般都會炸裂而報廢,乃至損壞相鄰部件乃至整個熱場,因此石墨坩堝強(qiáng)度較低是單晶出產(chǎn)安穩(wěn)的危險,急需更新?lián)Q代,運(yùn)用契合拉晶需求的抗折強(qiáng)度大的產(chǎn)品。
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