操作人員應(yīng)戴口罩和PVC手套。石墨坩堝應(yīng)放置在墊有橡膠墊的臺(tái)車(chē)上。石墨坩堝內(nèi)如有掉落的氮化硅粉塵，應(yīng)及時(shí)用壓縮空氣吹出，避免進(jìn)入熔融硅，影響結(jié)晶質(zhì)量。
    將柔性石墨板放置在裝載小車(chē)的中部（運(yùn)用直推小車(chē)），以保證柔性石墨板放置在運(yùn)送小車(chē)上處于平衡狀況。將坩堝放在柔性石墨板上（保證柔性石墨板不晃動(dòng)），使柔性石墨板的四個(gè)邊際與坩堝的四個(gè)邊際之間的間隔根本相同，必要時(shí)調(diào)整坩堝的方位。在坩堝周?chē)b置柔性石墨板，將螺栓和螺釘孔對(duì)準(zhǔn)柔性石墨板，用手悄然擰緊螺母，查詢(xún)?nèi)嵝允逯車(chē)哇釄逯車(chē)目盏兀苿?dòng)柔性石墨板，以保證坩堝置于中心。查看保溫籠是否正常，底部四角與爐腔下邊際根本在同一平面上，無(wú)傾斜、凹凸現(xiàn)象。柔性石墨板的四個(gè)角應(yīng)與爐腔之間的間隔一起。保證下?tīng)t膛處于下限。
    用真空吸塵器清潔爐膛。請(qǐng)勿在高溫下操作，避免燙壞人體或污染柔性石墨板。查看坩堝裝載和石墨支撐板的狀況。招認(rèn)無(wú)異常后，試裝/卸叉車(chē)，吊起裝好的坩堝支撐板，留神坩堝平衡，將坩堝支撐在兩叉臂中心。升高叉臂的上限，小心腸駛?cè)雰蓚€(gè)導(dǎo)軌之間的下?tīng)t腔，緩慢下降坩堝，并緩慢地將其放在DS塊上。用直尺測(cè)量DS塊與柔性石墨板四個(gè)邊際之間的間隔為4±0.5cm。保證石墨支撐板在中心，并將坩堝放在DS塊上。在此過(guò)程中，請(qǐng)留神叉臂底部不會(huì)壓過(guò)頂部柔性石墨板。將坩堝放在DS塊上，然后緩慢地卸下叉車(chē)。用清潔紙和異丙醇清潔上下?tīng)t腔法蘭段，然后不才爐腔密封零位均勻涂改一薄層高溫真空潤(rùn)滑脂。